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en 17/05/2024

Sumitomo Heavy Industries lanzará máquinas de implantación de iones Sic en Japón

Según los informes de los medios extranjeros, la subsidiaria de Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, lanzará máquinas de implantación de iones para semiconductores de energía de carburo de silicio (sic) en el mercado ya en 2025.

La mayor parte del equipo utilizado en el proceso SIC es el mismo que las líneas de producción tradicionales de silicio, pero debido a la alta dureza de SIC, se requiere equipos de producción especial, como máquinas de implantación de iones de alta temperatura, máquinas de escoba de películas de carbono, producción en masa alta.-En la temperatura de los hornos de recocido, etc. Entre ellos, la presencia de máquinas de implantación de iones de alta temperatura es un criterio importante para medir las líneas de producción de SIC.


Según el informe, el equipo de implantación de iones inyecta iones de impureza como el fósforo y el boro en la oblea para cambiar sus propiedades eléctricas.Para las obleas de silicio, el tratamiento térmico se realiza después de la implantación de iones para restaurar la cristalinidad.Sin embargo, para SIC, es difícil restaurar la cristalinidad únicamente a través del tratamiento térmico después de la implantación de iones.El método habitual es calentar el chip Sic a aproximadamente 500 grados centígrados, luego realizar la implantación de iones y el tratamiento térmico.Debido a su complejo proceso operativo, los semiconductores SIC tienen el problema de un rendimiento más bajo que los semiconductores de silicio.

Esta vez, Sumitomo Heavy Industries Ion Technology planea mejorar el método de implantación de iones de sus productos lanzados, al tiempo que mantiene la calidad de SIC y el aumento de la producción.

Debido a factores como la alta dificultad técnica y la validación de procesos difíciles, existen altas barreras competitivas y una alta concentración de la industria en la industria de las máquinas de implantación de iones.En general, todo el mercado es monopolizado principalmente por American Applied Materials Company y American Axcelis Company, que representa más del 70% del mercado global.

Los últimos datos de Trendforce Consulting muestran que SIC todavía está acelerando su penetración en los mercados de aplicaciones, como automóviles y energía renovable, donde la densidad de energía y la eficiencia son extremadamente importantes.La demanda general del mercado mantendrá una tendencia de crecimiento en los próximos años, y se estima que se espera que el tamaño del mercado mundial de dispositivos de energía SIC alcance los 9.17 mil millones de dólares estadounidenses en 2028.
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